|
|||||
|
|
| 用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作 | |
| 引用本文： | 赵龙波,张志宇,朱德燕,延超,郑立功,张学军.用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作[J].激光与光电子学进展,2014,51(11):110902. |
| 作者姓名： | 赵龙波 张志宇 朱德燕 延超 郑立功 张学军 |
| 作者单位： | 赵龙波:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033中国科学院大学, 北京 100049 张志宇:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033 朱德燕:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033中国科学院大学, 北京 100049 延超:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033中国科学院大学, 北京 100049 郑立功:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033 张学军:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林 长春 130033 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51305422)、国家973 计划(2011CB013200) |
| 摘 要： | 为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律;分析线宽误差与位置误差关系,得到CGH不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果,制作最小线宽1.8 mm,直径80 mm的振幅型CGH。检测结果表明,波前误差均方根值为0.011l,达到l/100量级,可用于高精度非球面的检测。 |
| 关 键 词： | 全息 衍射光学元件制作 线宽 非球面检验 |
| 收稿时间： | 2014/5/20 |
Fabrication of High Precision Computer Generated Hologram for Aspheric Surface Testing by Laser-Direct Writing |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | holography fabrication of diffractive optical elements line-width aspheric surface testing |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |