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| 宽量程半导体真空规研制成功 | |
| 引用本文： | 王先路.宽量程半导体真空规研制成功[J].真空,1985(5). |
| 作者姓名： | 王先路 |
| 摘 要： | 合肥工业大学真空技术及设备教研室,根据半导体感温特性,利用微电子平面工艺,经过三年多的努力,研制成功宽量程半导体真空规。来自全国各地的高等学校、研究所、计量部门及工厂等20多位鉴定会代表,于1985年9月14日至15日在合肥通过技术鉴定。 鉴定会一致认为,合肥工业大学研制的宽程半导体真空规测量范围宽、灵敏度高、重复性好、性能稳定,所达到的技术性能指标为国内先进水平;宽量程半导体真空规系国内首创,它的研制成功为我国真空测量提供了一个实用的新型真空测量量具。宽量程半导体真空规研制成功@王先路 |
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