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| 纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法 | |
| 引用本文： | 苗晋威,杨沙沙,齐秉楠,乔庆宇,刘国昌,王任鑫.纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法[J].传感器与微系统,2022(3):28-31. |
| 作者姓名： | 苗晋威 杨沙沙 齐秉楠 乔庆宇 刘国昌 王任鑫 |
| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)矢量水听器在使用中会受到平台运动、海浪、洋流等冲击的干扰从而影响对目标声源的探测.为实现水听器的精准探测,提出了一种纤毛—硅柱结构的可抑制振动噪声的矢量水听器.设计了一种力矩平衡结构,利用COMSOL软件对矢量水听器的参数构建有限元分析模型,并对其静态分析、模态分析以及谐响应分析仿真.结果表明:矢... |
| 关 键 词： | 矢量水听器 微机电系统 有限元分析 振动抑制 制造工艺 |