| MEMSic加速度传感器在气体微流量检测中的应用 |
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| 引用本文： | 林引,谢昭莉,陈皎.MEMSic加速度传感器在气体微流量检测中的应用[J].自动化信息,2006(6):33-34,40. |
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| 作者姓名： | 林引 谢昭莉 陈皎 |
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| 作者单位： | 重庆大学自动化学院,重庆 |
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| 摘 要： | 根据MEMSic（微电子机械系统集成芯片）加速度传感器的工作原理及特点，将其应用于气体微流量检测中。经过具体实验验证，在不同温度下，采取一定的温度补偿措施，在气体流量从0到50sccm的变化范围内，MEMSic加速度传感器能够精确地测量出变化，说明了MEMSic加速度传感器对徽流量的检测具有较高的灵敏度和稳定性。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微流量 补偿 灵敏度 稳定性 |
Application of MEMSic Acceleration Sensor to Detection of Slim Gas Flow |
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| Lin Yin, Xie ZhaoLi, Chen Jiao.Application of MEMSic Acceleration Sensor to Detection of Slim Gas Flow[J].Automation Information,2006(6):33-34,40. |
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| Authors: | Lin Yin Xie ZhaoLi Chen Jiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS Slim Flow Compensation Sensitivity Stability |
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