微机控制的微孔径激光检测装置的研究

本文描述了一个微机控制的激光测微孔装置。该装置由激光干涉系统检测图样尺寸,同时采用增量法有效地解决了衍射距离的测定问题。文中介绍了这种装置的工作原理、基本构成及测量流程。