| 国外电子气体技术进展 |
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| 引用本文： | 梁国仑,余京松. 国外电子气体技术进展[J]. 半导体技术, 2001, 26(2): 25-28 |
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| 作者姓名： | 梁国仑 余京松 |
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| 作者单位： | 光明化工研究设计院,辽宁大连 116031;浙江大学材料系功能室,浙江杭州 310027 |
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| 摘 要： | 论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。
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| 关 键 词： | 电子气体 集成电路 气体分析仪 粒子计数 |
| 文章编号： | 1003-353X(2001)02-0025-04 |
| 修稿时间： | 2000-07-18 |
Technological progress of electronic gases overseas |
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| LIANG Guo-lnn,YU Jing-song. Technological progress of electronic gases overseas[J]. Semiconductor Technology, 2001, 26(2): 25-28 |
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| Authors: | LIANG Guo-lnn YU Jing-song |
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| Affiliation: | LIANG Guo-lnn1,YU Jing-song2 |
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| Abstract: | The strict demands for the electronic gases quality due to IC technological developments are presented. Some of the relative new equipment, new instruments and applications for some new electronic gases are introduced. |
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| Keywords: | electronic gases integrated circuit analytical instruments of gases particle account |
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