| 二氧化铪(HfO_2)功能陶瓷薄膜的自组装制备 |
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| 引用本文： | 贺中亮,苗鸿雁,谈国强,刘剑,夏傲,娄晶晶.二氧化铪(HfO_2)功能陶瓷薄膜的自组装制备[J].功能材料,2009,40(1). |
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| 作者姓名： | 贺中亮 苗鸿雁 谈国强 刘剑 夏傲 娄晶晶 |
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| 作者单位： | 贺中亮,苗鸿雁,谈国强,刘剑,夏傲,HE Zhong-liang,MIAO Hong-yan,TAN Guo-qiang,LIU Jian,XIA Ao(陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710021);娄晶晶,LOU Jing-jing(河南大学法学院,河南,开封,475001)
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家科技支撑计划 |
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| 摘 要： | 利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长十八烷基三氯硅烷(OTS)单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.研究了紫外光照射对OTS单分子层的影响,通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出HfO2晶态薄膜,呈立方型的HfO2,无其它杂相,薄膜表面均一.
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| 关 键 词： | 薄膜 自组装单层膜 |
Self-assembled monolayers preparation of HfO_2 thin film |
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| HE Zhong-liang,MIAO Hong-yan,TAN Guo-qiang,LIU Jian,XIA Ao,LOU Jing-jing.Self-assembled monolayers preparation of HfO_2 thin film[J].Journal of Functional Materials,2009,40(1). |
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| Authors: | HE Zhong-liang MIAO Hong-yan TAN Guo-qiang LIU Jian XIA Ao LOU Jing-jing |
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| Affiliation: | 1.College of Material Science and Engineering;Shaanxi University of Science and Technology;Xi'an 710021;China;2.College of Law;Henan University;Kaifeng 475001;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HfO2 |
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