| 表面微加工中镍的微电铸 |
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| 引用本文： | 吕文龙,陈义华,孙道恒. 表面微加工中镍的微电铸[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 407-409 |
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| 作者姓名： | 吕文龙 陈义华 孙道恒 |
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| 作者单位： | 厦门大学,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022) |
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| 摘 要： | ![]()
介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.
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| 关 键 词： | 微电铸 脉冲 表面微加工 镍 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0407-03 |
| 修稿时间： | 2005-05-05 |
Micro-electroforming of Ni in Surface Micromachining |
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| Lu Wenlong,Chen Yihua,Sun Daoheng. Micro-electroforming of Ni in Surface Micromachining[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 407-409 |
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| Authors: | Lu Wenlong Chen Yihua Sun Daoheng |
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| Abstract: | ![]()
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