用于溅射薄膜的光学厚度监控器

本文叙述对提供溅射薄膜光学厚度的实时监控工业用的溅射装置的改进。允许通过氦氖激光束时,设计利用在靶中心有个真空小窗口,通过溅射膜增长调节反射光强容许就地测量其厚度。