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| MEMS及微机械加速度计可靠性研究 | |
| 引用本文： | 许建军,孔学东,李斌,师谦. MEMS及微机械加速度计可靠性研究[J]. 电子产品可靠性与环境试验, 2006, 24(5): 64-67 |
| 作者姓名： | 许建军 孔学东 李斌 师谦 |
| 作者单位： | 华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所,广东,广州,510640;信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所,广东,广州,510640 |
| 摘 要： | 由于MEMS器件的应用日益频繁，其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。以微机械加速度计为例，指出了该加速度计的可靠性问题，以及对其可靠性测试研究的内容。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 可靠性 微机械加速度计 |
| 文章编号： | 1672-5468(2006)05-0064-04 |
| 修稿时间： | 2006-01-04 |
Reliability of MEMS and Micromechanical Accelerometer |
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| XU Jian-jun,KONG Xue-dong,LI Bin,SHI Qian. Reliability of MEMS and Micromechanical Accelerometer[J]. Electronic Product Reliability and Environmental Testing, 2006, 24(5): 64-67 | |
| Authors: | XU Jian-jun KONG Xue-dong LI Bin SHI Qian |
| Abstract: | It is important to study the reliability of MEMS for its frequently application. The issues causing the reliability problem are introduced in this article. At last,MEMS accelerometer is taken as an example. The reliability issues of MEMS accelerometer are presented and the reliability test aspects are introduced. |
| Keywords: | MEMS reliability micromechanical accelerometer |
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