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| 高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器的研制 | |
| 作者单位： | ;1.北方广微科技有限公司;2.昆明物理研究所 |
| 摘 要： | 研制出一款640×512高性能17μm非制冷氧化钒红外焦平面探测器。读出电路输入级采用镜像电路获得盲像元(Rd)和感光像元(Rs)电流差的积分电流(Iint),并能够有效抑制输入偏压噪声;同时采用逐行积分、逐列读出模式。氧化钒采用单层微桥工艺;像元桥臂间距缩至0.8mm,以尽可能增大桥面及VO_x面积,有效提高像元响应率。器件采用高可靠性的金属真空封装。测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 m K,响应率大于15 m V/K,热响应时间小于10 ms。 |
| 关 键 词： | 非制冷 红外焦平面 氧化钒 读出电路 |
Development of High-Performance 17 μm Uncooled VO_x Infrared Focal Plane Array |
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| Keywords: | |