| 磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展 |
| |
| 引用本文： | 陈松,耿永红,王传军,闻明,张俊敏,毕珺,李艳琼,谭志龙,张昆华.磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展[J].贵金属,2013,34(1):74-78. |
| |
| 作者姓名： | 陈松 耿永红 王传军 闻明 张俊敏 毕珺 李艳琼 谭志龙 张昆华 |
| |
| 作者单位： | 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室,昆明,650106 |
| |
| 基金项目： | 国家科技部院所技术开发专项，云南省院所技术开发专项，国家基金项目，云南省基金项目 |
| |
| 摘 要： | 目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材。重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题。
|
| 关 键 词： | 金属材料 粉末冶金 CoCrPt 溅射靶材 熔铸法 质量控制 |
Research Progress of CoCrPt System Targets Fabrication |
| |
| CHEN Song,GENG Yonghong,WANG Chuanjun,WEN Ming,ZHANG Junmin,BI Jun,LI Yanqiong,TAN Zhilong,ZHANG Kunhu,GUAN Weiming.Research Progress of CoCrPt System Targets Fabrication[J].Precious Metals,2013,34(1):74-78. |
| |
| Authors: | CHEN Song GENG Yonghong WANG Chuanjun WEN Ming ZHANG Junmin BI Jun LI Yanqiong TAN Zhilong ZHANG Kunhu GUAN Weiming |
| |
| Affiliation: | (State Key Laboratory of Advanced Technologies for Comprehensive Utilization of Platinum Metals,Kunming Institute of Precious Metals,Kunming 650106,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《贵金属》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《贵金属》下载全文 |
|
