| 溅射工艺参数对TiAlN薄膜力学性能及结构成分的影响 |
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| 引用本文： | 陈蓓蓓,蔡珣,周滔.溅射工艺参数对TiAlN薄膜力学性能及结构成分的影响[J].机械工程材料,2007,31(9):15-17. |
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| 作者姓名： | 陈蓓蓓 蔡珣 周滔 |
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| 作者单位： | 上海交通大学材料科学与工程学院,上海,200240 |
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| 摘 要： | 采用反应磁控溅射法和钛一铝镶嵌靶制备TiAlN薄膜;运用纳米压入硬度测试仪、划痕仪和能谱仪、X射线衍射仪等对薄膜进行表征;研究了制备工艺参数对薄膜力学性能、薄膜成分及组织结构的影响.结果表明:随着氮气分压增大,薄膜厚度降低,薄膜(111)取向减弱,(220)和(311)取向增强,薄膜中的氮原子含量逐渐增多,而钛、铝原子含量逐渐减少;随着基体偏压增大,薄膜纳米硬度和膜/基界面临界载荷均逐渐增大,纳米硬度最高可迭48.73 GPa,膜/基界面临界载荷最高可达40 N.
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| 关 键 词： | TiAlN薄膜 磁控溅射 力学性能 工艺参数 工艺参数 TiAlN 薄膜力学性能 结构成分 影响 Mechanical Properties Parameters Deposition Sputtering Effect Coatings Composition 临界载荷 界面 纳米硬度 基体偏压 铝原子 含量 氮原子 取向增强 |
| 文章编号： | 1000-3738(2007)09-0015-03 |
| 修稿时间： | 2006年12月1日 |
Effect of Sputtering Deposition Parameters on Mechanical Properties,Microstructure and Composition of TiAlN Coatings |
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| CHEN Bei-bei,CAI Xun,ZHOU Tao.Effect of Sputtering Deposition Parameters on Mechanical Properties,Microstructure and Composition of TiAlN Coatings[J].Materials For Mechanical Engineering,2007,31(9):15-17. |
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| Authors: | CHEN Bei-bei CAI Xun ZHOU Tao |
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