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| 表面粗糙度对镍镀层结合性能的影响 | |
| 引用本文： | 周玉凤,刘瑞,汪红. 表面粗糙度对镍镀层结合性能的影响[J]. 电镀与涂饰, 2014, 33(19): 815-817 |
| 作者姓名： | 周玉凤 刘瑞 汪红 |
| 作者单位： | 1. 上海工程技术大学机械工程学院,上海,201620 2. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州,215123 3. 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240 |
| 摘 要： | 对玻璃基双层镍表面进行阳极活化以提高镍层之间的结合强度。阳极活化液组成和工艺条件为:NiCl2·6H2O 100 g/L,H3BO3 25 g/L,pH 4.0,温度45°C,阳极电流密度10~30 mA/cm2,时间5~15 min。研究了电流密度和处理时间对镍镀层表面形貌、孤岛结合力、表面粗糙度和界面结合强度的影响,探讨了双层镍表面粗糙度和界面结合强度的关系。结果表明,在30 mA/cm2下阳极活化10 min后,双层镍的界面结合强度为629.8 MPa,比盐酸活化试样高了近2倍。镍层表面粗糙度与界面结合强度之间有明显的对应关系,表面粗糙度越大,界面结合强度越高。采用阳极活化法可有效提高微机电系统微器件的可靠性。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 阳极活化 镍镀层 表面粗糙度 界面结合强度 |
Effect of surface roughness on bonding strength of nickel coating |
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| ZHOU Yu-feng,LIU Rui,WANG Hong. Effect of surface roughness on bonding strength of nickel coating[J]. Electroplating & Finishing, 2014, 33(19): 815-817 | |
| Authors: | ZHOU Yu-feng LIU Rui WANG Hong |
| Affiliation: | ZHOU Yu-feng;LIU Rui;WANG Hong;College of Mechanical Engineering,Shanghai University of Engineering Science; |
| Abstract: | |
| Keywords: | micro-electromechanical system anodic activation nickel coating surface roughness interfacial bonding strength |
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