| 八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究 |
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| 引用本文： | 范波,熊继军,郭涛,毛海央,王敏.八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究[J].微计算机信息,2008,24(1):138-140. |
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| 作者姓名： | 范波 熊继军 郭涛 毛海央 王敏 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原山西,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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霍英东教育基金 |
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| 摘 要： | 一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式,这种结构的传感器有很高的灵敏度,但它会产生很高的横向效应.文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器,通过用ANSYS有限元分析软件仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有很小的横向效应.
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| 关 键 词： | 加速度传感器 灵敏度 横向效应 压阻式 硅微加速度传感器 横向灵敏度 研究 Sensitivity 仿真计算 分析软件 有限元 ANSYS 三轴 梁结构 中介 横向效应 质量块 悬臂梁 压阻式 |
| 文章编号： | 1008-0570(2008)01-1-0138-03 |
| 修稿时间： | 2007年10月3日 |
Analysis of Transverse Sensitivity in Eight-beam Piezoresistive Micro-accelerometer |
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| FAN BO,XIONG JIJUN,GUO TAO,MAO HAIYANG,WANG MIN.Analysis of Transverse Sensitivity in Eight-beam Piezoresistive Micro-accelerometer[J].Control & Automation,2008,24(1):138-140. |
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| Authors: | FAN BO XIONG JIJUN GUO TAO MAO HAIYANG WANG MIN |
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