| 高陡度非球面光学元件加工技术研究 |
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| 引用本文： | 左巍,辛科,赵广木.高陡度非球面光学元件加工技术研究[J].现代制造工程,2009(7). |
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| 作者姓名： | 左巍 辛科 赵广木 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 高陡度非球面光学元件因形状特点,其毛坯成形、研磨和抛光等加工技术难度远高于传统的球面元件.其加工过程中根据不同材料和不同加工阶段分别应用化学气相沉积(CVD)精密复制方法、单点金刚石车削(DPT)、金刚石磨削、确定性微研磨(DMG)、磁流变抛光(MRF)和射流抛光等先进制造技术.分析高陡度非球面光学元件的形状特征,重点讨论高陡度非球面光学元件的加工技术及关键工艺,针对凹面抛光加工等技术难点做出工艺分析.
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| 关 键 词： | 高陡度非球面 磁流变抛光 内凹面抛光 |
Study of the fabrication of deep aspheric optic surface |
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| ZUO Wei,XIN Ke,ZHAO Guang-mu.Study of the fabrication of deep aspheric optic surface[J].Modern Manufacturing Engineering,2009(7). |
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| Authors: | ZUO Wei XIN Ke ZHAO Guang-mu |
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