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| 涡轮分子泵多级组合叶列模拟算法的比较研究 | |
| 作者姓名： | 孙坤 张世伟 张志军 赵凡 韩峰 韩进 |
| 摘 要： | 针对小型涡轮分子泵对涡轮叶片的精准设计提出的更高要求,从入射方向分布和入射位置分布的角度,对比分析了传统单级叶列算法和多级动静组合叶列算法之间的差异,发现传统单叶列算法存在一定的原理性误差.以1～4级组合叶列为例,采用不同模拟算法分别对传输概率、最大何氏系数和最大压缩比进行比较研究,与多级动静组合叶列算法相比,采用传统... |
| 关 键 词： | 涡轮分子泵 多级组合叶列 算法 传输概率 比较研究 |