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| 用于全息波导的阶梯光栅设计 | |
| 作者姓名： | 袁烨 冯奇斌 吕国强 |
| 摘 要： | 基于标量理论计算了三阶任意宽度的台阶光栅的衍射效率,发现当台阶宽度相等时光栅的衍射效率最高.采用基于严格耦合波的仿真软件分析了不同折射率下阶梯光栅高度和衍射效率之间的关系.仿真结果表明:光栅材料的折射率分别为1.52和1.74时,达到最大衍射效率时光栅高度分别为700 nm和470 nm,当光栅高度偏离最佳高度100 ... |
| 关 键 词： | 全息波导 光栅 衍射效率 无掩模光刻 |
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