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国内首台自主知识产权“光刻机”面世
摘 要:
合肥经济开发区管委会对外宣布,具有世界领先水平、完全属于自主知识产权的国内第一台无掩膜式(直写式)“光刻机”在合肥研制成功,这标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面被打破。
关 键 词:
自主知识产权
光刻机
国内
经济开发区
亚微米级
合肥
进口
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