|
|||||
|
|
| 提拉单晶炉自动引晶技术的研究 | |
| 作者姓名： | 何晔 佘建军 付昌禄 李金 宋晓佳 武欢 李海林 母江东 邓力 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第26研究所; |
| 摘 要： | 该文从人工引晶工艺流程入手,结合提拉法单晶炉已有技术和温度测控技术,使用计算机编程技术和传感器测量技术完成人工引晶的各项步骤,实现了提拉法单晶炉引晶技术的全自动化,从而实现真正意义上的全自动单晶炉。 |
| 关 键 词： | 提拉法单晶炉 引晶 提拉法(CZ) 红外测温 上称重 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |