| MEMS超级电容器研究进展 |
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| 引用本文： | 郭茂香,丑修建,穆继亮,郭涛,熊继军. MEMS超级电容器研究进展[J]. 电子元件与材料, 2012, 31(2): 68-71. DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2012.02.020 |
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| 作者姓名： | 郭茂香 丑修建 穆继亮 郭涛 熊继军 |
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| 作者单位： | 1.中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051;2.中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051;3.中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051;4.中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051;5.中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目,山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助 |
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| 摘 要： | 基于微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术的微型超级电容器是一种以微纳米结构形式实现储能的微型能量存储器件,具有高比容量、高储能密度和高抗过载能力等特点,在MEMS微电源系统、引信系统以及物联网等技术领域具有广泛的应用前景.分析了超级电容器的基本原理和种类,系统综述了MEMS超级电容器的国内外研究现状,重点讨论了基于MEMS加工技术的超级电容器制造方法和优势,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了MEMS超级电容器存在的技术瓶颈问题,并展望了其未来的发展趋势和应用需求.
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| 关 键 词： | 微机电系统 超级电容器 综述 微型能量存储 微纳器件 |
Advancement of MEMS supercapacitors |
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| GUO Maoxiang , CHOU Xiujian , MU Jiliang , GUO Tao , XIONG Jijun. Advancement of MEMS supercapacitors[J]. Electronic Components & Materials, 2012, 31(2): 68-71. DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2012.02.020 |
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| Authors: | GUO Maoxiang CHOU Xiujian MU Jiliang GUO Tao XIONG Jijun |
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| Affiliation: | (Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement,Ministry of Education,College of Electronics and Computer Science and Technology,North University of China,Taiyuan 030051,China) |
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| Abstract: | Micro-supercapacitor based on the micro-electron mechanical system(MEMS) technology is a kind of micro-energy storage device with micro/nanometer structures,which possesses the merits of high specific capacitance,high energy-storing density and high anti-overload ability.The application prospect of MEMS supercapacitor is extensive in the field of the micro-power system,MEMS fuze system and internet of things(IOT).The supercapacitors’ type and principle are generalized.The advancement and advantages of MEMS supercapacitors based on the MEMS technology are systematically summarized from abroad and home.The technical bottlenecks are analyzed from materials,structural design,processing technology,and the developing tendency is proposed for MEMS supercapacitors. |
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| Keywords: | micro-electron mechanical system supercapacitors review micro-energy storage micro-nanometer devices |
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