| PZT铁电薄膜的制备及电学性能研究 |
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| 引用本文： | 王培英 刘梅冬. PZT铁电薄膜的制备及电学性能研究[J]. 压电与声光, 1996, 18(2): 109-113 |
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| 作者姓名： | 王培英 刘梅冬 |
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| 作者单位： | 华中理工大学固体电子学系 |
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| 摘 要： | 使用硝酸锆作锆源的溶胶－凝胶方法制备ＰＺＴ铁电薄膜。他们的电学性能被测试包括电滞回线，电流Ｉ（ｔ）特性，漏电流，矫顽场疲劳和老化。测到的ＰＺＴ薄膜剩余极化８．２μＣ／ｃｍ~２，矫顽场６８ｋＶ／ｃｍ．簿膜的寿命可超过１０~（１１）周期。
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| 关 键 词： | 疲劳，老化，PZT膜，反转周期 |
Investigation on Electric Characters and Preparation of PZT Ferroelectric Thin Films |
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| Wang Pelying, Liu Meidong,Zeng Yike ,Rao Yunhua, He Enpei. Investigation on Electric Characters and Preparation of PZT Ferroelectric Thin Films[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 1996, 18(2): 109-113 |
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| Authors: | Wang Pelying Liu Meidong Zeng Yike Rao Yunhua He Enpei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | s: PZT film fatigue aging switching cycle |
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