紫外传感贴片的叉指结构仿真优化 |
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引用本文: | 文丹丹,陈一鑫.紫外传感贴片的叉指结构仿真优化[J].电子科技大学学报(自然科学版),2023(3):451-457. |
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作者姓名: | 文丹丹 陈一鑫 |
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作者单位: | 重庆邮电大学光电工程学院 |
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基金项目: | 国家重点研发计划(2018YFE0115500);;国家自然科学基金青年基金(51902037);;重庆市教育委员会科学技术研究项目(KJQN201900615); |
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摘 要: | 利用COMSOL Multiphysics仿真软件建立了含叉指电极结构的紫外传感贴片三维模型,并对其进行了相关电特性研究。为降低传感器初始电阻,便于后端电路的测量开发,利用控制变量法,基于叉指指宽、间距、厚度等结构参数设置了多个不同的仿真模型。在AC/DC模块下的电流物理场接口下,选择稳态研究,结果表明,不同的结构参数将对电极和传感器的电场分布和初始电阻产生影响。通过对比分析发现,叉指电极的指宽为0.6 mm,间距为0.4 mm,厚度为5μm时,初始电阻最小。此外,还设计了新型环状叉指电极结构,初步探究了其相关电学特性。研究发现该结构的初始电阻值与优化后的矩形叉指处于同一量级,对相关实验实践具有很好的指导意义。
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关 键 词: | COMSOL 电极结构 叉指电极 初始电阻 紫外传感器 |
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