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| 类金刚石膜的制备及其影响因素 | |
| 作者姓名： | 陈灵 刘正义 邱万奇 黄元盛 |
| 作者单位： | 华南理工大学,机电工程系,广东,广州,510641 |
| 基金项目： | 国家教委博士点基金资助项目,(1999056121) 广东省自然科学基金资助项目,(990548) |
| 摘 要： | 概述了近年来制类金刚石膜的新技术如双射频辉光放电（RF－RF）法,射频－直流辉光放电（RF－DC）法和微波－射频（MW－RF）法等,并且对影响类金刚石膜制备及性能的因素如基体材料,制备类金刚石膜时在膜中添加元素,类金刚石膜与基材之间的中间层等进行了较全面的分析。 |
| 关 键 词： | 类金刚石镀 制备方法 影响因素 |
| 文章编号： | 1007-9289(2002)01-0032-03 |
| 修稿时间： | 2001-08-17 |
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