| GAZO/Ag/GAZO透明导电薄膜的磁控溅射制备及光电性能优化 |
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| 引用本文： | 廖珺晨,钱芮,陈冬,陈海金,罗国平,朱伟玲.GAZO/Ag/GAZO透明导电薄膜的磁控溅射制备及光电性能优化[J].激光与光电子学进展,2023(7):425-433. |
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| 作者姓名： | 廖珺晨 钱芮 陈冬 陈海金 罗国平 朱伟玲 |
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| 作者单位： | 1. 广东石油化工学院理学院;2. 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（12074441）； |
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| 摘 要： | 采用多源磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了Ga、Al共掺杂氧化锌(GAZO)/Ag/GAZO透明导电薄膜。对比实验表明，通入O2溅射Ag能够提高薄膜在600～800 nm波段的光透射率。进一步优化后，发现在O2流量为1.0 sccm的条件下，12 nm的Ag获得连续结构，提升了GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能。在空气中经150℃退火处理1 h,GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能和结构性能都得到提升。退火后薄膜方块电阻为8.99Ω/sq,380～780 nm可见光波段平均透射率为98.17%，品质因子高达2260Ω-1。该GAZO/Ag/GAZO透明导电薄膜显示出优异的光电性能，有望替代铟锡氧化物薄膜用于光电器件领域。
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| 关 键 词： | 薄膜 掺杂 磁控溅射 退火 光电性能 |
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