| 二甲基一氯硅烷和三氯氢硅的热氯化反应及机理研究 |
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| 引用本文： | 段锐,贾朝航,徐茂兰,马天悦,彭文才,张建树.二甲基一氯硅烷和三氯氢硅的热氯化反应及机理研究[J].无机盐工业,2023(12):82-87+101. |
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| 作者姓名： | 段锐 贾朝航 徐茂兰 马天悦 彭文才 张建树 |
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| 作者单位： | 石河子大学化学化工学院,化工绿色过程省部共建国家重点实验室培育基地 |
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| 摘 要： | 去除三氯氢硅(SiHCl3)中的碳杂质可提高多晶硅的纯度，但SiHCl3和二甲基一氯硅烷(CH3)2SiHCl]的沸点极为接近，在精馏过程中易形成共沸物。因此，SiHCl3中的(CH3)2SiHCl较难去除。提出以Cl2为氯源，通过热氯化反应将(CH3)2SiHCl转化为高沸点的甲基氯硅烷，以增大相对挥发度，便于后续精馏除杂。但(CH3)2SiHCl和SiHCl3会同时发生氯化反应，为此，探究了两者转化率随温度的变化。结果表明，在60℃、120 min时，(CH3)2SiHCl的转化率为53.1%,SiHCl3的转化率为14.3%,(CH3)2SiHCl的转化率最佳。最后，通过密度泛函理论计算分...
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| 关 键 词： | 二甲基一氯硅烷 热氯化 三氯氢硅 氯气 密度泛函理论 |
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