| AlN在α-Al2O3(0001)表面吸附过程的理论研究 |
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| 引用本文： | 余毅,冯玉芳,黄平,杨春.AlN在α-Al2O3(0001)表面吸附过程的理论研究[J].真空科学与技术学报,2009,29(5). |
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| 作者姓名： | 余毅 冯玉芳 黄平 杨春 |
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| 作者单位： | 1. 四川师范大学计算机软件省重点实验室,成都,610068
2. 四川师范大学计算机软件省重点实验室,成都,610068;四川师范大学化学与材料科学学院,成都,610068 |
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| 基金项目： | 国家国防973基金，四川省青年科技基金(No.07ZQ026-021)资助课题 |
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| 摘 要： | 采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了动力学模拟计算,研究了AlN分子在a-Al2O3(0001)表面吸附成键过程、吸附能量与成键方位.计算表明吸附过程经历了物理吸附、化学吸附与稳定态形成的过程,其化学结合能达到4.844eV.吸附后AlN化学键(0.189±0.010nm)与最近邻的表面Al-O键有30°的偏转角度,Al在表面较稳定的化学吸附位置正好偏离表面O六角对称约30°,使得AlN与蓝宝石之间的晶格失配度降低.
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| 关 键 词： | a-Al2O3(0001)表面 AlN薄膜 密度泛函理论 吸附 |
Simulation of AlN Adsorption on Sapphire(0001) Surfaces |
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| Yu Yi,Feng Yufang,Huang Ping,Yang Chun.Simulation of AlN Adsorption on Sapphire(0001) Surfaces[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2009,29(5). |
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| Authors: | Yu Yi Feng Yufang Huang Ping Yang Chun |
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