| 沉积温度对ZrO2薄膜相结构和透射率的影响 |
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| 引用本文： | 刘建华,徐可为.沉积温度对ZrO2薄膜相结构和透射率的影响[J].真空科学与技术学报,2004,24(5):321-323,328. |
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| 作者姓名： | 刘建华 徐可为 |
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| 作者单位： | 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049 |
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| 基金项目： | 西安交通大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 利用射频反应磁控溅射在显微玻璃、单晶硅片、NaCl片和石英上沉积ZrO2薄膜.薄膜厚度80 nm～100 nm.利用X射线衍射仪、透射电子显微镜、X射线能谱仪、分光光度计和原子力显微镜研究了沉积温度对薄膜相结构和O/Zr、透射率的影响.研究发现,沉积温度升高,非晶相减少,结晶相增多;晶粒尺寸增大;沉积温度为370 ℃,透射率明显下降.
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| 关 键 词： | ZrO2薄膜 磁控溅射 沉积温度 相结构 透射率 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)05-0321-03 |
Influence of Depositing Temperature on Microstructure and Optical Transmittance of ZrO2 Films |
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| Liu Jianhua and Xu Kewei.Influence of Depositing Temperature on Microstructure and Optical Transmittance of ZrO2 Films[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(5):321-323,328. |
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| Authors: | Liu Jianhua and Xu Kewei |
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| Affiliation: | Liu Jianhua and Xu Kewei * |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | O/Zr |
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