| 射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究 |
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| 引用本文： | 候廉平,陈陪峰,陈清明. 射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究[J]. 佛山陶瓷, 2002, 0(11): 3-8 |
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| 作者姓名： | 候廉平 陈陪峰 陈清明 |
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| 作者单位： | 华中科技大学激光工程研究院,武汉,430074;华中科技大学激光工程研究院,武汉,430074;华中科技大学激光工程研究院,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 分析了射频CO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则,通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响。
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| 关 键 词： | 射频CO2激光器 划片 氧化铝陶瓷基片 |
Study on Laser Scribing of Al2O3 Ceramic Substrate by RF CO2 Laser |
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| HouLianpingChenPeifengChenQingming. Study on Laser Scribing of Al2O3 Ceramic Substrate by RF CO2 Laser[J]. Foshan Ceramics, 2002, 0(11): 3-8 |
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| Authors: | HouLianpingChenPeifengChenQingming |
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| Abstract: | ThemechanismofscribingceramicsubstratebyRFCO2 laserandfundamentaloftechnicalpa-rameterschoiceareanalyzed.Bynumericalsimulateandexperiment,theinfluencesoffactorssuchasfrequencyofpulse,pulsewidth,scribingspeed,pressureofassistantaironthequalityoflaserscribingareinvestigated. |
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| Keywords: | RFCO2 laser scribing Al2O3ceramicsubstrate |
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