| 用机器视觉检测集成电路芯片的图像分割方法研究 |
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| 引用本文： | 左建中,张新荣,左慧莉. 用机器视觉检测集成电路芯片的图像分割方法研究[J]. 制造业自动化, 2004, 26(11): 24-26 |
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| 作者姓名： | 左建中 张新荣 左慧莉 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学,天津,300072
2. 科广新(北京)信息技术有限公司 |
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| 基金项目： | 天津市自然科学基金重点资助项目 |
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| 摘 要： | 在研制检测集成电路芯片的机器视觉系统中，研究运用Mahalanobis距离方法，对摄取的芯片图像进行图象分割。实验结果表明，对处于环境复杂、低对比度、细节多的芯片图象能够产生很好的分割效果。该方法鲁棒性强，能保证分割质量，能显著提高机器视觉的检测精度。亦可用于对其它产品的尺寸及表面质量检验测量。
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| 关 键 词： | 机器视觉 图象分割 Mahalanobis距离 |
| 文章编号： | 1009-0134(2004)11-0024-02 |
| 修稿时间： | 2004-07-16 |
Image segmentation method research in using machine vision to inspect IC chips |
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| ZUO Jian-zhong,ZHANG Xin-rong,ZUO Hui-li. Image segmentation method research in using machine vision to inspect IC chips[J]. Manufacturing Automation, 2004, 26(11): 24-26 |
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| Authors: | ZUO Jian-zhong ZHANG Xin-rong ZUO Hui-li |
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| Affiliation: | ZUO Jian-zhong1,ZHANG Xin-rong1,ZUO Hui-li2 |
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| Abstract: | In a IC chip inspecting machine vision system, we used Mahalanobis distance method to segment the captured chip image. Experi ment Results show that the method performs well towards the images featuring complex-environment, low-contrast and multi-detail. With strong robustness and appealing segmentation quality ,the method can be used to consid- erably improve the inspection precision. It can be used to perform dimension and surface quality inspection of other products as well. |
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| Keywords: | machine vision image segmentation Mahalanobis distan |
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