| 40GHz 陶瓷衬底SOLT 校准片研制与定标技术研究 |
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| 引用本文： | 殷玉喆,仲博涵,阚劲松,王文峰,张继平.40GHz 陶瓷衬底SOLT 校准片研制与定标技术研究[J].微波学报,2014,30(3):80-83. |
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| 作者姓名： | 殷玉喆 仲博涵 阚劲松 王文峰 张继平 |
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| 作者单位： | 1. 工业和信息化部电子四院计量与检测中心; 2. 北京理工大学信息与电子学院 |
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| 摘 要： | 在片测试系统在微波单片集成电路MMIC 的设计建模及生产检验中有着必不可少的作用。由于测试
参考面从矢网的同轴接口转移到微波探针,因此需要用共面波导校准片校准。设计制作了用于在片测试系统校准
的陶瓷衬底的SOLT 校准片,并对校准片进行了建模,提取出了1 ~40GHz 频段内片上负载及短路件的等效电阻及寄
生电感参量、直通件的延时参量。片上负载的电阻分量约为45赘,回波损耗在1 ~ 30GHz 小于-20dB;在30 ~ 40GHz
小于-10dB。验证了SOLT 校准片设计、制作及定标的整个工艺过程的有效性。
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| 关 键 词： | 在片 校准 开路短路负载直通(SOLT) 建模 |
Research on 40GHz Al2O3 SOLT Calibration Substrate Design and Parameter Fitting |
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| YIN Yuzhe,ZHONG Bohan,KAN Jinsong,WANG Wenfeng,ZHANG Jiping.Research on 40GHz Al2O3 SOLT Calibration Substrate Design and Parameter Fitting[J].Journal of Microwaves,2014,30(3):80-83. |
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| Authors: | YIN Yuzhe ZHONG Bohan KAN Jinsong WANG Wenfeng ZHANG Jiping |
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| Affiliation: | 1. Test and Metrology Center,China Electronics Standardization Institute; 2. School of Information and Electronics,Beijing Institute of Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | on-wafer calibration short-open-load-thru(SOLT) model |
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