薄膜生长初期形貌的计算机模拟与改进 |
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引用本文: | 刘涌,宋晨路,等.薄膜生长初期形貌的计算机模拟与改进[J].材料科学与工程,2002,20(3):393-395. |
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作者姓名: | 刘涌 宋晨路 |
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摘 要: | 本文模拟了在低温基底上超薄膜沉积初期表面形貌。文章模拟多个沉积原子同时移动的生长过程,引入了宏观量沉积流量影响。在此基础上讨论了各向异性的影响作用,并改进了模型,修改了基底吸附位置的排列方式,从而获得了与实验结果更相近的图样。
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关 键 词: | 计算机模拟 初期形貌 沉积流量 薄膜生长 |
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