| 纳米金刚石薄膜的光学性能研究 |
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| 引用本文： | 蒋丽雯 王林军 刘健敏 阮建锋 苏青峰 崔江涛 吴南春 史伟民 夏义本. 纳米金刚石薄膜的光学性能研究[J]. 红外与毫米波学报, 2006, 25(3): 195-198 |
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| 作者姓名： | 蒋丽雯 王林军 刘健敏 阮建锋 苏青峰 崔江涛 吴南春 史伟民 夏义本 |
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| 作者单位： | 上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;上海市应用材料研究与发展基金;上海市纳米科技专项基金;上海市重点学科建设项目 |
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| 摘 要： | 用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌和粗糙度,拉曼光谱表征膜层结构,紫外-可见光分光光度计测量其光透过率,并用椭圆偏振仪测试、建模、拟合获得了表征薄膜光学性质的n,k值.结果表明薄膜的晶粒尺寸在100nm以下,表面粗糙度仅为21nm;厚度为3.26(m薄膜在632.8nm波长处的透过率为25%,1100nm波长处达到50%.采用直接光跃迁机制估算得到纳米金刚石薄膜的光学能隙(Eg)为4.3 eV.
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| 关 键 词： | 纳米金刚石薄膜 光学透过性 热丝化学气相法 表面粗糙度 |
| 文章编号： | 1001-9014（2006）03-0195-04 |
| 收稿时间： | 2005-12-10 |
| 修稿时间： | 2006-02-25 |
OPTICAL PROPERTIES OF NANO-CRYSTALLINE DIAMOND FILMS |
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| JIANG Li-Wen,WANG Lin-Jun,LIU Jian-Ming,RUAN Jian-Feng,SU Qing-Feng,CUI Jiang-Tao,WU Nan-Chun,SHI Wei-Ming,XIA Yi-Ben. OPTICAL PROPERTIES OF NANO-CRYSTALLINE DIAMOND FILMS[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2006, 25(3): 195-198 |
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| Authors: | JIANG Li-Wen WANG Lin-Jun LIU Jian-Ming RUAN Jian-Feng SU Qing-Feng CUI Jiang-Tao WU Nan-Chun SHI Wei-Ming XIA Yi-Ben |
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| Affiliation: | Electrical Material Department, School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nano-crystalline diamond films optical transmissibility HFCVD surface roughness |
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