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| ZnSnO3气敏薄膜的制备和性能 | |
| 引用本文： | 曾宇平,高兆芬,沈荷生.ZnSnO3气敏薄膜的制备和性能[J].传感器与微系统,2006,25(7):70-72. |
| 作者姓名： | 曾宇平 高兆芬 沈荷生 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院,上海硅酸盐研究所,上海,200050 2. 上饶师范学院,化学系,江西,上饶,334001 3. 上海交通大学,微纳米科学技术研究院,上海,200030 |
| 摘 要： | 利用共沉淀法制备了ZnSnO3粉体,通过直流溅射制备了气敏薄膜.研究了老化温度、薄膜的组成对气体的灵敏度影响.实验结果表明:600℃老化后,气敏膜薄膜的主要成分是ZnSnO3,在450℃时,该薄膜对乙醇灵敏度约为650,有望开发成酒敏元件. |
| 关 键 词： | 薄膜 直流溅射 电导 气敏特性 气敏薄膜 制备和性能 thin film gas sensing properties 酒敏元件 开发 乙醇 成分 气敏膜 老化温度 结果 实验 影响 灵敏度 气体 组成 研究 溅射制备 粉体 |
| 文章编号： | 1000-9787（2006）07-0070-03 |
| 收稿时间： | 2006-03-14 |
| 修稿时间： | 2006年3月14日 |
Fabrication and properties of ZnSnO3 gas sensing thin film |
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| ZENG Yu-ping,GAO Zhao-fen,SHEN He-sheng.Fabrication and properties of ZnSnO3 gas sensing thin film[J].Transducer and Microsystem Technology,2006,25(7):70-72. | |
| Authors: | ZENG Yu-ping GAO Zhao-fen SHEN He-sheng |
| Affiliation: | 1. Shanghai INstitute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China; 2. Department of Chemistry, Shangrao Normal College, Shangrao 334001, China; 3. Research Institute of Micro/Nano Science and Technology,Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200030,China |
| Abstract: | |
| Keywords: | thin film DC-sputtering conductivity gas-sensing properties |
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