| 热处理温度对ITO薄膜组织与光电性能的影响 |
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| 引用本文： | 杨觉明,张康虎,余申卫,余萍,张海礁.热处理温度对ITO薄膜组织与光电性能的影响[J].热加工工艺,2004(12):26-28. |
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| 作者姓名： | 杨觉明 张康虎 余申卫 余萍 张海礁 |
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| 作者单位： | 1. 西安工业学院,材料与化工学院,陕西,西安,710032
2. 中国船舶重工集团公司第十二研究所,陕西,兴平,713102 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅科技专项基金资助项目(02JK147) |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶工艺制备出纳米晶ITO透明导电薄膜。采用XRD和SEM分析了薄膜物相和显微形貌。采用面电阻仪和分光光度计测量了薄膜方阻和透光率。实验结果表明,随热处理温度升高,晶化趋于完整,组织逐渐均匀致密,晶粒有所长大,700℃热处理时薄膜完全晶化。另外,随热处理温度升高,方阻减小而透光率增加。经过700℃热处理,厚度400nm的ITO膜的方阻约300Ω/□,透光率>80%。
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| 关 键 词： | 铟锡氧化物 溶解-凝胶工艺 透明导电膜 方阻 透光率 |
| 文章编号： | 1001-3814(2004)12-0026-03 |
| 修稿时间： | 2004年10月8日 |
Effect of Temperature of Heat Treatment on Microstructure and Optical-electrical Properties of ITO Thin Films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | indium tin oxide sol-gel process transparent conductive film optical-electrical properties |
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