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| 微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究 | |
| 引用本文： | 徐小云,颜国正,丁国清. 微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究[J]. 测控技术, 2002, 21(8): 1-5 |
| 作者姓名： | 徐小云 颜国正 丁国清 |
| 作者单位： | 上海交通大学,信息检测技术及仪器系,上海,200030;上海交通大学,信息检测技术及仪器系,上海,200030;上海交通大学,信息检测技术及仪器系,上海,200030 |
| 摘 要： | 微型机电系统技术是一个新兴的技术领域,本介绍了微电子机械系统（MEMS）的特点和关键技术,讨论了MEMS的应用,并阐述了MEMS的发展趋势。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 军事应用 微机械 |
| 文章编号： | 1000-8829(2002)08-0001-05 |
| 修稿时间： | 2002-02-05 |
Research on MEMS and its Application |
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