用于大型低温环境下多目标光谱仪的微镜阵列

下一代空间天文仪器与地基望远镜需要基于MOEMS的可编程狭缝模具．该模具用于必须工作在低温环境下的多目标光谱仪（MOS）。1个5x5单晶硅微镜阵列（MMA）的初等模型已经成功地制作与检测。100μm×200μm微镜可以通过静电驱动倾斜，产生20~机械倾角。在低温制冷前后温度低于100K的情况下，微镜阵列已经被成功驱动。1个微镜阵列包括2个不同的芯片：镜面芯片与电极芯片，分别制作在硅绝缘体基片上。为了组装大型阵列（100×200微镜）．需要高精密的装调与人工处理抑制。本文为此装置发展了1种组装技术，并设计与制作出专用的XY朋斜平台。这个平台允许以微米量级的精度向微镜方向调准电极。大型100×200微镜阵列可以用于大视场，测量范围为25mm×25mm。通过使用上述设备，已经成功地制作和组装了微镜阵列，并且未检测到组装引起的变形。检测到的微镜形变的峰谷值为14nm，已经进行了初步的驱动测试。

Large Micromirror Array for Multi-object Spectroscopy in Cryogenic Environment