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| 金刚石薄膜与WC—Co硬质合金的随着性研究 | |
| 引用本文： | 耿东生,李贵峰.金刚石薄膜与WC—Co硬质合金的随着性研究[J].机械科学与技术(西安),1997,16(6):1050-1054. |
| 作者姓名： | 耿东生 李贵峰 |
| 摘 要： | 以甲烷和氢气为气源，用热丝ＣＶＤ法，在ＷＣ－６％Ｃｏ的硬质合金基体上沉积金刚石薄膜。研究了基体表面经抛光、腐蚀、脱碳及镀中间层等不同的预处理对金刚石薄膜与基体的随着性的影响。试验结果表明：基体表面经抛光、腐蚀再经脱碳或镀ＴｉＮ中间层，可改善和提高随着性，金刚石薄膜的形核率沉积速率有所降低；基体表面只经抛光、腐蚀预处理，金刚石薄膜的形核率和沉积速率较高，结晶性好，但随着性较差；采用分段沉积，可以提高 |
| 关 键 词： | 金刚石 薄膜 硬质合金 预处理 随着性 |
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