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| 一种微小型磁矢量传感器设计 | |
| 引用本文： | 孙立凯,宋尔冬,徐兴烨.一种微小型磁矢量传感器设计[J].科技创新与应用,2020(16). |
| 作者姓名： | 孙立凯 宋尔冬 徐兴烨 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第49研究所,黑龙江 哈尔滨 150001;中国电子科技集团公司第49研究所,黑龙江 哈尔滨 150001;中国电子科技集团公司第49研究所,黑龙江 哈尔滨 150001 |
| 摘 要： | 文章介绍了一种微小型磁矢量传感器设计。该传感器的检测单元包括两个磁敏感单元和一套信号处理系统。磁敏感单元采用MEMS技术制作,具有体积小、集成度高等特点。信号处理系统通过对两个磁敏感单元对空间地磁信号进行采集,并通过对磁敏感单元的信号数据处理,有效地改善了传感器的非线性和噪声,提高了传感器的灵敏度和线性度。对采用MEMS技术制作的微小型磁矢量传感器进行性能测试,测试结果表明:该传感器的灵敏度优于100pT/Hz1/2,线性误差≤0.1%。 |
| 关 键 词： | 微小型磁矢量传感器 设计 信号处理 |
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