| 扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法研究 |
| |
| 引用本文： | 骆彬威,杨尚维. 扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法研究[J]. 科技创新与应用, 2020, 0(8) |
| |
| 作者姓名： | 骆彬威 杨尚维 |
| |
| 作者单位： | 广东省现代几何与力学计量技术重点实验室,广东 广州 510405;广东省质量监督测绘装备检验站(广州),广东 广州 510405;广东省计量科学研究院,广东 广州 510405;广东省现代几何与力学计量技术重点实验室,广东 广州 510405;广东省质量监督测绘装备检验站(广州),广东 广州 510405;广东省计量科学研究院,广东 广州 510405 |
| |
| 基金项目： | 2018YFF02123404) |
| |
| 摘 要： | 扫描探针显微镜在现代医疗、物理、化学等领域应用广泛,其微纳结构深度测量也因此得到普遍关注。文章尝试分析扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法,首先以机械探针、光学探针建立模拟实验,再结合结果分析影响测量精度的因素,最后据此分析校准方法,给出运用自动化技术、容错技术等内容。
|
| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 微纳结构 深度测量 校准方法 |
Study on Calibration Method of Micro-Nano Structure Depth Measurement under Scanning Probe Icroscope |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
