| 电容式多晶硅微声传感器的模拟与设计 |
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| 引用本文： | 霍明学,刘晓为,张铁良,兰慕杰,王东旺.电容式多晶硅微声传感器的模拟与设计[J].压电与声光,2004,26(1):31-34. |
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| 作者姓名： | 霍明学 刘晓为 张铁良 兰慕杰 王东旺 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 MEMS中心,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器。通过有限元法(FEM)对传感器建模，并对其进行静力、模态和谐响应分析。模拟分析结果表明此传感器机械灵敏度可达1．81X10^-7m／Pa，其频带宽度接近10kHz。
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| 关 键 词： | 多晶硅薄膜 微声传感器 有限元 |
Simulation and Design of Capacitive Microacoustic Sensors with Polysilicon Film |
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| HUO Ming-xue,LIU Xiao-wei,ZHANG Tie-liang,LAN Mu-jie,WANG Dong-wang.Simulation and Design of Capacitive Microacoustic Sensors with Polysilicon Film[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2004,26(1):31-34. |
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| Authors: | HUO Ming-xue LIU Xiao-wei ZHANG Tie-liang LAN Mu-jie WANG Dong-wang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polysilicon micro-acoustic sensor FEM |
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