| LaNiO3薄膜热稳定性的研究 |
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| 引用本文： | 赵强,黄志明,胡志高,张晓东,褚君浩.LaNiO3薄膜热稳定性的研究[J].压电与声光,2004,26(3):221-224. |
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| 作者姓名： | 赵强 黄志明 胡志高 张晓东 褚君浩 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理所,红外物理国家重点实验室,上海,200083 |
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| 摘 要： | LaNiO3导电金属氧化物薄膜在现代应用科学研究中作为电极和过渡阻挡层倍受青睐，它具有很好的导电特性和稳定性。该文采用射频溅射法制备了具有(100)择优取向的赝立方结构LaNiO3-x薄膜，并进行了原位热处理。实验结果表明，在265℃的处理条件下，LaNiO3薄膜表现出不稳定性，晶格中的氧在2h内失去了2.7％。氧的损失对品格结构没有明显影响，但薄膜的导电性能明显下降，折射率和消光系数也具有相同幅度的下降。对薄膜的应用具有一定的影响。该文从LaNiO3薄膜的导电机理方面对实验现象给出了分析和解释。
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| 关 键 词： | LaNiO3 氧损失 薄膜 |
| 文章编号： | 1004-2474(2004)03-0221-04 |
| 修稿时间： | 2002年11月18 |
A Study on the Thermo-stability of LaNiO3 Films |
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| ZHAO Qiang,HUANG Zhi-ming,HU Zhi-gao,ZHANG Xiao-dong,CHU Jun-hao.A Study on the Thermo-stability of LaNiO3 Films[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2004,26(3):221-224. |
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| Authors: | ZHAO Qiang HUANG Zhi-ming HU Zhi-gao ZHANG Xiao-dong CHU Jun-hao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LaNiO_3 oxygen loss thin films |
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