| 探针对原子力显微镜成像的影响 |
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| 引用本文： | 李丽丽,宋正勋,刘晓刚,王作斌.探针对原子力显微镜成像的影响[J].长春理工大学学报,2014(1):72-75. |
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| 作者姓名： | 李丽丽 宋正勋 刘晓刚 王作斌 |
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| 作者单位： | [1]长春理工大学 电子信息工程学院,长春 130022 [2]吉林省纳米操纵 装配与制造国际科技合作基地,长春 130022 |
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| 基金项目： | 基金项目：国家重大基础研究计划（973,2012CB326406）;欧盟第七研究框架计划（LaserNaMi（247644）;EcNANOMAN（269219））;国家国际科技合作计划（2012DFA11070）;国家自然科学基金（61176002）;教育部博士点基金（20112216110002）;吉林省科技发展计划（201115157,20110704）;广东省科技发展计划（2011B010700101）;长春市科技创新平台（11KP04） |
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| 摘 要： | 原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）的一个重要应用就是对样品表面的微纳米级尺寸特征进行成像，但在扫描成像的过程中，由于针尖的影响作用，使得扫描所获图像是原子力探针和样品共同作用的结果，而不是样品形貌的真实描述。本文通过用具有不同形状、尺寸针尖的探针对同一样品进行成像，将所得图像进行分析、对比，模拟和实验结果表明，为获得更准确的特征尺寸成像，对有不同特征尺寸的样品，需要选择适合的探针对其实施成像。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 特征尺寸 成像 针尖形状 |
The Probe Impact on Imaging of Atomic Force Microscope |
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| LI Lili,SONG Zhengxun,LIU Xiaogang,WANG Zuobin.The Probe Impact on Imaging of Atomic Force Microscope[J].Journal of Changchun University of Science and Technology,2014(1):72-75. |
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| Authors: | LI Lili SONG Zhengxun LIU Xiaogang WANG Zuobin |
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| Affiliation: | 1.School of Electronics and Information Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022; 2.Jilin Provincial International Science and Technology Cooperation Base for Nano Handling, Assembly and Manufacturing, Changchun 130022) |
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| Abstract: | AFM plays an important role in imaging feature size of samples with micro/ nano-scale. But as the interac-tion between the probe and sample,the image is usually a combination of them,and it is just an approximate descrip-tion of the sample. This paper the images of a fixed sample with probe of different shapes and sizes are presented,the data is compared and the results are concluded. Simulations and experiments demonstrate that the probe should be cho-sen properly to image based on the scale of different samples. |
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| Keywords: | AFM characteristic size imaging tip shape |
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