| 调制周期对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 林松盛,周克崧,代明江,石倩,胡芳,侯惠君,韦春贝,李福球.调制周期对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜性能的影响[J].真空科学与技术学报,2015,35(1):114-118. |
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| 作者姓名： | 林松盛 周克崧 代明江 石倩 胡芳 侯惠君 韦春贝 李福球 |
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| 作者单位： | 华南理工大学材料科学与工程学院;广州有色金属研究院新材料研究所;广东省现代表面工程技术重点实验室 |
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| 摘 要： | 采用真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面沉积同等厚度的三种不同调制周期Ti-Ti N-Zr-Zr N软硬交替多层膜。用扫描电镜、显微硬度计、结合力划痕仪和砂粒冲刷试验仪分析测试了多层膜的厚度、表面及截面形貌、硬度、膜/基结合力和抗砂粒冲蚀磨损性能等;重点研究了调制周期的改变对多层膜性能的影响。结果表明:随着周期数的增加,单一调制周期变薄,膜层中金属"液滴"颗粒等缺陷减少,同时也增加了大量的层间界面;层界面之间反复形核,晶粒细化,有利于多层膜表面光洁度、致密度、硬度、结合力和抗砂粒冲蚀能力的改善。
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| 关 键 词： | Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜 调制周期 真空阴极电弧沉积 冲蚀 |
Influence of Modulation Period on Mechanical Behavior of Ti-TiN-Zr-ZrN Multi-Layered Coatings |
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| Lin Songsheng;Zhou Kesong;Dai Mingjiang;Shi Qian;Hu Fang;Hou Huijun;Wei Chunbei;Li Fuqiu.Influence of Modulation Period on Mechanical Behavior of Ti-TiN-Zr-ZrN Multi-Layered Coatings[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2015,35(1):114-118. |
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| Authors: | Lin Songsheng;Zhou Kesong;Dai Mingjiang;Shi Qian;Hu Fang;Hou Huijun;Wei Chunbei;Li Fuqiu |
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| Affiliation: | Lin Songsheng;Zhou Kesong;Dai Mingjiang;Shi Qian;Hu Fang;Hou Huijun;Wei Chunbei;Li Fuqiu;School of Materials Science and Engineering,South China University of Technology;Department of New Materials,Guangzhou Research Institute of Non-Ferrous Metals;Guangdong Provincial Key Laboratory of Modern Surface Engineering Technology; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ti-TiN-Zr-ZrN multilayer films Modulation period Vacuum cathodic arc deposition Erosion |
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