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| 串并联RF MEMS开关的微波传输特性仿真研究 | |
| 引用本文： | 谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川,赵泽宇.串并联RF MEMS开关的微波传输特性仿真研究[J].微纳电子技术,2005,42(4):172-175. |
| 作者姓名： | 谌贵辉 张万里 彭斌 蒋洪川 赵泽宇 |
| 作者单位： | 1. 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054;西昌学院物理系,四川,西昌,615022 2. 西昌学院物理系,四川,西昌,615022 3. 微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209 |
| 基金项目： | 微细加工光学技术国家重点实验室研究基金资助项目 |
| 摘 要： | 分别建立了串联悬臂梁、并联电容MEMS开关的结构模型和等效电路模型,利用其模型研究了开关的微波传输性能,在结构、工艺及驱动机制上作了比较。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 微波开关 仿真 等效电路 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)04-0172-03 |
| 修稿时间： | 2004年9月1日 |
Research of Microwave Transmission Properties of Series and Shunt RF MEMS Switch |
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| CHEN Gui-hui,ZHANG Wan-li,PENG Bin,JIANG Hong-chuan,ZHAO Ze-yu.Research of Microwave Transmission Properties of Series and Shunt RF MEMS Switch[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(4):172-175. | |
| Authors: | CHEN Gui-hui ZHANG Wan-li PENG Bin JIANG Hong-chuan ZHAO Ze-yu |
| Affiliation: | CHEN Gui-hui1,2,ZHANG Wan-li2,PENG Bin2,JIANG Hong-chuan2,ZHAO Ze-yu3 |
| Abstract: | Structure models and equivalent circuit models for series cantilever MEMS switch and shunt capacity MEMS switch are developed. The microwave transmission properties of switches were studied by these models. The structure,craft and activate pattern of series cantilever MEMS switch and shunt electric capacity MEMS switch were compared. |
| Keywords: | MEMS microwave switch simulation equivalent circuit |
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