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直线电机驱动二维精密定位平台的设计研究
引用本文:曹卫锋.直线电机驱动二维精密定位平台的设计研究[J].装备制造技术,2012(9):1-2,7.
作者姓名:曹卫锋
作者单位:榆林学院能源工程学院,陕西榆林,719000
基金项目:榆林学院高层次人才科研启动基金项目(08GK037)
摘    要:对直线电机驱动的两维大范围、高速、精密二维定位平台进行了总体设计,然后对导轨、直线电机和测量反馈系统进行了选型与计算,最后分析了二维定位平台的定位精度.样机测试结果表明,该平台在XY两个方向的定位精度基本满足设计要求,为系统标定与误差补偿提供了参考.

关 键 词:直线电机  总体设计  定位精度  精密定位

Research on Design of Two-dimensional Precision Positioning Stage Driven by Linear Motors
Authors:CAO Wei-feng
Affiliation:CAO Wei-feng(Yulin University,Yulin Shaanxi 719000,China)
Abstract:At first,overall design of two-dimensional precision positioning stage driven by linear motors are performed,afterward type of the linear motor,precision linear rolling guide way are selected,?at last,the positioning accuracy of the stage are analyzed.The test result of model machine show that the positioning accuracy on X/Y directions is satisfactory,this provides a reference for system calibration and error compensation
Keywords:linear motor  overall design  positioning accuracy  precision positioning
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