首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
体硅CMOS射频集成电路中高Q值在片集成电感的实现
引用本文:
张志勇,海潮和.体硅CMOS射频集成电路中高Q值在片集成电感的实现[J].微电子学,2003,33(1):15-18.
作者姓名:
张志勇
海潮和
作者单位:
中国科学院,微电子中心,北京,100029
摘 要:
制作高Q值在片集成电感一直是体硅CMOS射频集成电路工艺中的一大难点,文章讨论和分析了体硅RF IC工艺中提高在片集成电感Q值的几种常用方法,这些方法都与CMOS工艺兼容。
关 键 词:
在片集成电感
射频集成电路
品质因素
钢互连
低k介质
体硅CMOS
文章编号:
1004-3365(2003)01-0015-04
修稿时间:
2002年3月11日
High Q-Factor On-chip Spiral Inductors for Bulk Silicon CMOS RF IC's
Abstract:
Keywords:
On-chip inductors
RF IC
Quality factor
Copper interconnections
Low-k dielectric
本文献已被
CNKI
维普
万方数据
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号