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| 半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述 | |
| 作者姓名： | 闵雁 伍乃骐 |
| 作者单位： | 1.广东工业大学机电工程学院,广东广州,510006;2.广东工业大学机电工程学院,广东广州,510006 |
| 摘 要： | 作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用.使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低.由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难.目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作.本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点.基于这些分析,指出了进一步的研究方向. |
| 关 键 词： | 半导体制造 组合设备 生产调度 系统建模和分析 |
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