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中国微米纳米学会----力矩器磁场对微小加速度计非线性误差的影响
引用本文:王晓东,张梦迪,孙屹博,罗怡. 中国微米纳米学会----力矩器磁场对微小加速度计非线性误差的影响[J]. 传感技术学报, 2018, 31(7): 993-997. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.07.003
作者姓名:王晓东  张梦迪  孙屹博  罗怡
作者单位:大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁大连116024;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁大连,116024
基金项目:"高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项"高精度惯性器件微制造装备"课题项目(2013ZX04001091)
摘    要:
挠性摆式微小加速度计在导航系统中有广阔的应用前景,其非线性误差主要由力矩器标度因数的非线性所造成,其中力矩器磁场对其有重要影响.利用ANSYS Maxwell对力矩器磁场分布的均匀性进行了仿真,分析了力矩器加工和装配产生的偏差对于磁场均匀性的影响规律.结果表明,力矩器组件磁钢和上导磁帽对磁场影响较大.保证磁钢厚度加工偏差在±10μm以内,相对标准偏差CV值的相对误差小于5.4%.控制上导磁帽高度的加工偏差在±6μm以内,CV值的相对误差可小于4.4%.力矩器装配的同轴度偏差对于磁场均匀性及线圈受力影响较小,控制在±8μm以内即可.上述研究结果为指导加速度生产和装配工艺,提高其稳定性提供依据.

关 键 词:微小加速度计  力矩器  磁场均匀性  非线性误差

The Influence of Moment Magnetic Field on Nonlinear Error of Miniature Accelerometer
WANG Xiaodong,ZHANG Mengdi,SUN Yibo,LUO Yi. The Influence of Moment Magnetic Field on Nonlinear Error of Miniature Accelerometer[J]. Journal of Transduction Technology, 2018, 31(7): 993-997. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.07.003
Authors:WANG Xiaodong  ZHANG Mengdi  SUN Yibo  LUO Yi
Abstract:
Keywords:Miniature accelerometer   torque converter   magnetic field uniformity   non-linear error
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