| 计量型原子力测头用于纳米台阶高度样板的测量 |
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| 引用本文： | 卢明臻,高思田,杜华,崔建军.计量型原子力测头用于纳米台阶高度样板的测量[J].计量学报,2008,29(3):193-197. |
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| 作者姓名： | 卢明臻 高思田 杜华 崔建军 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;中国计量科学研究院,北京,100013
2. 中国计量科学研究院,北京,100013 |
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| 摘 要： | 为"大范围纳米结构测量系统"研制的计量型原子力测头,采用光束偏转法检测探针悬臂偏转.原子力测头的布置在X、Y方向无阿贝误差.在50mm×50mm×2mm的测量全程内,测头与样品的相对位移可以由激光干涉仪直接读数,因此可溯源到米定义国家基准.激光波长由Elden公式计算修正.使用德国物理技术研究院(FIB)提供的台阶高度样板一套,所得测量结果与PTB测量结果进行比对,结论为:测量系统的测量重复性不大于0.82 nm;比对系数En≤1,验证了测量结果是准确的,测量不确定度评定是合理、可信的.
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| 关 键 词： | 计量学 原子力显微镜 台阶高度样板 阿贝误差 激光干涉仪 溯源 |
Measurement of Nano-step Height Scales with a Metrological AFM Head |
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| LU Ming-zhen,GAO Si-tian,DU Hua,CUI Jian-jun.Measurement of Nano-step Height Scales with a Metrological AFM Head[J].Acta Metrologica Sinica,2008,29(3):193-197. |
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| Authors: | LU Ming-zhen GAO Si-tian DU Hua CUI Jian-jun |
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